Элегаз SF6, Гексафторид серы Химическая формула SF6 Элегаз SF6 — газ без цвета и запаха.
Элегаз SF6
Описание продукта
Название продукта Элегаз SF6, Гексафторид серы
Химическая формула SF6
Элегаз SF6 — газ без цвета и запаха.
Применение:
Теплоноситель — диэлектрик в электронной промышленности
В технологии плазмохимического травления
Физические свойства:
Молекулярная масса 146,06 г/моль
Температура сублимации —63,80 С
Критическая температура 45,6 С
Критическое давление 3,76 МПа
Критическая плотность 740 кг/м3
Температура плавления (при 0,227 МПа) —50,8 С
Данные по окружающей среде
ODP (Озоноразрушающий потенциал) 0
GWP 24900
ПДК р. з. 5000 мг/м3
Упаковка
Возвратный баллон 40 кг
Хладон 113 ( R-113)
|
Хладон 404а (R-404a)
|
Хладон 141b (R-141b)
|
Хладон 22 (R-22)
|
Хладон 408а (R-408a)
|
|
Хладон 227еа (R-227ea)
|
Хладон 318 (R-318)
|
Хладон
|
Хладон R-14
|
Хладон 12 (R-12)
|
